طراحی و ساخت دستگاه تولید پلاسما به روش تخلیه سد دی‌الکتریک سطحی (sdbd) در مقیاس آزمایشگاهی

در این مقاله، هدف طراحی و ساخت دستگاه تولید پلاسما به روش تخلیه سد دی الکتریک سطحی(sdbd) در مقیاس آزمایشگاهی به منظور تولید لایه ای از پلاسمای فشار اتمسفری پایدار و یکنواخت است. بدین منظور الکترود مسی با ضخامت 100 میکرون با ساختار شانه ای برای این سامانه طراحی و ساخته شد و برای ساخت دی الکتریک نیز از ورقه میکا با ضخامت 5/0 میلی متر با ابعاد 10×10 سانتی متر استفاده شد. با توجه به داده های تجربی و محاسبات تحلیلی برای اندازه گیری توان مصرفی سامانه sdbd ساخته شده، در شرایط کاری ولتاژ 7 کیلوولت و فرکانس 5/12 کیلوهرتز، توان مصرفی این سامانه برابر با 50 وات محاسبه شد. همچنین، با استفاده از طیف سنجی نشر نوری، طیف بدست آمده از پلاسما مورد بررسی قرار گرفت. با توجه به تولید پلاسمای پایدار و یکنواخت ایجادشده بر روی سطح دی الکتریک و توان مصرفی اندازه‌ گیری ‌شده قابل قبول، این سامانه توانایی استفاده در علوم و صنایع  مختلف از جمله صنایع پردازش سطوح را خواهد داشت.

design and construction of a plasma generation device using the surface dielectric barrier discharge (sdbd) method in a laboratory scale

this article aims to design and construct a plasma generation device using the surface dielectric barrier discharge method (sdbd) on a laboratory scale to produce a stable and uniform atmospheric pressure plasma layer. for this purpose, a copper electrode with a thickness of 100 microns with a comb- like structure was designed and constructed for this system, and a mica sheet with a thickness of 0.5 mm and dimensions of 10 × 10 cm was built to make the dielectric. according to the experimental data and analytical calculations of the constructed sdbd system in working conditions of 3 kv voltage and 12.5 khz frequency, the consumption power of this system is calculated at 50 watts. due to the production of stable and uniform plasma created on the dielectric surface and the measured power consumption, this system will be able to be used in various sciences and industries, including surface processing industries.