شبیه‌سازی تنش‌های گرماکشسانی در بلور ژرمانیوم رشدیافته به روش چُکرالسکی در طول‌های متفاوتِ بلور

در فرایند رشد بلور به روش چُکرالسکی قسمت پایین و هستۀ بلور گرم تر از قست های دیگر بلور و محیط آن است که این گرادیان دمایی سبب انبساط در قسمت‌های مختلف بلور می‌شود. نتیجۀ این گرادیان گرمایی، کرنش است که در نهایت باعث ایجاد تنش گرماکشسانی در بلور می‌شود. افزایش این تنش به گذار ماده از حد کشسان و وارد شدن به منطقۀ پلاستیک می‌انجامد. برای نشان دادن تنش گرماکشسانی در بلورها از معیاری با نام تنش فون‌مایسس استفاده می‌کنند. در این مقاله، با استفاده از معادلات ساختاری مناسب، شبیه‌سازی عددی میدان دمایی، تنش گرماکشسانی (گرماکشسانی) و چگالی نابه‌جایی های بلور درحال رشد ژرمانیوم توسط روش چُکرالسکی برای طول های مختلف بلور انجام شده است. برای بررسی تراکم نابه‌جایی از یک تقریب سادۀ درجۀ یک، که در آن چگالی نابه‌جایی متناسب با گرادیان شعاعی دماست، استفاده کرده‌ایم. این روش در تمام محاسبات، روش عناصر متناهی حالت پایای دو بُعدی است. نتایج حاکی از آن است که میدان دمایی و تنش گرمایی و چگالی نابه‌جایی بلور به طور صریح وابسته به ارتفاع بلور و انتقال گرمای تابشی و جریان گاز در سامانۀ رشد است. با افزایش ارتفاع بلور و تغییر شکل فصل مشترک بلور‌مذاب، تنش گرمایی و چگالی نابه‌جایی افزایش می‌یابد.

Research Paper: Numerical Simulation of Thermoelastic Stresses in Germanium Crystal Grown by Czochralski Technique during Different Lengths of Crystal

In the process of crystal growth by Czochralski technique, lower part and core of the crystal are warmer than other parts of crystal and its environment, which leads to expansion in different parts of the crystal. The result of this thermal gradient is strain, which eventually causes thermoelastic stress in the crystal. Increasing this stress leads to transition of the material from elastic limit and entering plastic area. To show thermoelastic stress in crystals, a criterion called Von Misses stress is used. Using the solid mechanics approach, the mechanical response of crystal to the stresses can be determined through appropriate structural equations. In this paper, using appropriate structural equations, a set of numerical simulations of temperature field, thermal stress and dislocation density for a Czochralski setup used to grow Ge single crystal have been done for different heights of crystal. In order to investigate dislocation density, using a simple firstorder approximation, in which the dislocation density is proportional to radial gradient of temperature is used. A twodimensional steady state finite element method has been applied for all calculations. The numerical results reveal that the thermal field and thermal stress are mainly dependent on the crystal height, heat radiation and gas flow in the growth system. As the height of the crystal increases and the shape of the crystalmelt interface changes, we see an increase in thermoelastic stress and dislocation density.