>
Fa   |   Ar   |   En
   بررسی اثر مقدار نیتروژن بر خصوصیات ساختاری ، فازی و مورفولوژی سطح لایه های نازک نیترید تنگستن  
   
نویسنده عسگری سمیه ,ابراهیمی نژاد ژاله
منبع فيزيك كاربردي ايران - 1397 - دوره : 8 - شماره : 14 - صفحه:47 -59
چکیده    لایه های نیترید تنگستن با ساختاری بلوری به روش تبخیر شیمیایی و در غلظتهای مختلفی از گاز نیتروژن در ترکیب گازی آرگون و نیتروژن تولید شد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که غلظت نیتروژن در گاز ترکیبی تاثیر بسزایی روی ساختار، فازهای تشکیل شده، مورفولوژی سطح لایه ها و حتی اندازه دانه ها دارد. پراش اشعه ایکس، ساختار بلوری هگزاگونال wn را در نمونه های با غلظت کم نیتروژن (%10=n2 و %30=n2 و %50=n2) نشان می دهد و لایه ها دارای مورفولوژی غیریکنواخت با سطوحی زبر هستند. در غلظتهای بالاتر نیتروژن (%80=n2 و%100=n2) تغییر فاز رخ می دهد و دو ساختار بلوری مربعی w2n و wnهگزاگونال مشاهده می شود.بنظر میرسد که غلظت نیتروژن در جهت رشد ترجیحی فازهای بلوری نیز تاثیر بسزایی دارد. لایه ها دارای سطوحی صاف و زبری کم می باشند. تصاویر میکروسکوپ پراش الکترونی ساختار ستونی برای غلظتهای کم نیتروژن و ساختار چگال و غیر ستونی را برای غلظتهای بالای نیتروژن نشان می دهد.
کلیدواژه لایه نازک، نیترید تنگستن، فاز کریستالی، مورفولوژی سطح
آدرس دانشگاه ازاد تهران غرب, دانشکده علوم پایه, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه ازاد تهران غرب, دانشکده علوم پایه, ایران
 
   influence of nitrogen amount on structural , morphological properties of WN thin films  
   
Authors Ebrahimi nejhad Jhaleh ,Asgary Somayeh
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved