|
|
|
|
بررسی تاثیر پارامترهای هندسی بر جابه جایی خارج از صفحه میکروتیر پیزوالکتریکی با سطح مقطع t شکل
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
عطار علی ,طهماسبی پور محمد ,دهقان محمد
|
|
منبع
|
مكانيك سازه ها و شاره ها - 1397 - دوره : 8 - شماره : 4 - صفحه:1 -9
|
|
چکیده
|
دستیابی به جابه جایی خارج از صفحه بالاتر در میکروتیرها موجب افزایش حساسیت و دقت میکرو سنسورها و افزایش دامنه جابه‌جایی و کارآیی میکرومحرک‌های مبتنی بر این میکروتیرها می شود. در این مقاله، جابه جایی خارج از صفحه یک میکروتیر پیزوالکتریک با سطح مقطع t شکل به روش المان محدود مدلسازی شده است. به‌منظور افزایش جابه جایی خارج از صفحه این میکروتیر، تاثیر پارامترهای هندسی بر جابه‌جایی خارج از صفحه میکروتیر مذکور به روش تاگوچی بررسی شده است. سطح بهینه متغیرهای هندسی میکروتیر برای دستیابی به بیشترین جابه‌جایی خارج از صفحه میکروتیر، با تحلیل ضرایب سیگنال به نویز و ترتیب اهمیت تاثیر متغیرهای هندسی بر جابه‌جایی خارج از صفحه با تحلیل واریانس تعیین شده است. در بین مشخصات هندسی تحلیل شده، طول میکرو کانتیلور (l) بیشترین تاثیر را بر روی میزان جابه جایی خارج از صفحه دارد. با افزایش طول میکرو کانتیلور جابه‌جایی خارج از صفحه آن بیشتر می شود. پس از طول، عمق جان تیر (h)، بیشترین تاثیر را بر جابه جایی نوک میکرو کانتیلور دارد. هر چه اندازه عمق جان تیر کمتر باشد، میزان جابه جایی میکرو کانتیلور بیشتر است. با استفاده از سطوح بهینه متغیرهای هندسی، مقدار جابه جایی خارج از صفحه 296.3 میکرومتر بدست آمد که حدود 2.3 برابر نتیجه آخرین تحقیق انجام شده در این زمینه است.
|
|
کلیدواژه
|
میکروکانتیلور، پیزوالکتریک، جابه‌جایی خارج از صفحه، تحلیل المان محدود
|
|
آدرس
|
دانشگاه تهران, دانشکده علوم و فنون نوین, ایران, دانشگاه تهران, دانشکده علوم و فنون نوین, ایران, دانشگاه تهران, دانشکده علوم و فنون نوین, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Investigation of the effect of geometrical parameters on the outofplane displacement of a Tshaped piezoelectric microcantilever
|
|
|
|
|
Authors
|
Attar A. ,Tahmasebipour M. ,Dehghan M.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|