طراحی، مدلسازی و شبیه سازی میکروفون خازنی ممز بی سیم‎ ‎

در این مقاله یک ساختار جدید از میکروفون خازنی‎ ‎ممز(‏mems‏)‏ ‏ بی‌سیم ‏ طراحی، ‏آنالیز و مدلسازی شده‌است. در ساختار پیشنهادی از یک میکروفون با ولتاژ پولین ‏ ‏بسیار کم استفاده شده که با یک سلف ممزی سری است. سلف ممزی با یک سلف ‏خارجی در حالت القای متقابل قرار دارد و ولتاژ مورد نیاز میکروفون را تامین می‌کند. ‏اطلاعات دریافتی میکروفون نیز از طریق القای متقابل ‏ منتقل می شود. سنسور برای ‏استفاده در سمعک ناشنوایان طراحی شده است. ابعاد میکروفون برابر ‏μm2‎‏250‏‎×‎‏250 ‏است که در میان سلف ممزی با ابعاد ‏mm2‎‏2‏‎×‎‏2 قرار دارد. میکروفون و سلف ممزی هر ‏کدام به صورت جداگانه تحلیل شده و سپس با استفاده از المان‌های فشرده الکترونیکی ‏مدل سازی شده‌ و روابط ریاضی برای طراحی سنسور ارائه شده ‌است. شبیه‌سازی بخش ‏ممزی در‎ ‎نرم‌افزار ‏intellisuite‏ و شبیه‌سازی بخش مداری، در نرم‌افزارads‏ انجام ‏شده‌است. سنسور به علت استفاده از المان های غیر فعال ‏ و ممزی، کم نویز و کم توان ‏بوده و سیگنال به نویز و توان مصرفی آن به ازای ورودی ولتاژ ‏mv‏100 برابرdb‏79.6 و ‏mw‏204 است. به دلیل عدم وجود باتری، ابعاد سنسور پیشنهادی کوچک است و ‏برای کاربرد‌‌های پزشکی و امنیتی مناسب است.‏

design, modeling and simulation of wireless mems capacitive microphone

in this article, a new structure of the wireless mems condenser microphone has been designed, analyzed and modeled. in the proposed structure, a microphone with  low pull-in voltage is used, which is in series with a mems inductor. the internal inductor is in mutual induction mode with an external inductor and provides the required voltage for the microphone. the information received by the microphone is also transmitted through mutual induction. the sensor is designed for use in hearing aids for the deaf. the dimensions of the microphone are 250×250μm2, which is located in the middle of the mems inductor with dimensions of 2×2mm2. the microphone and the inductor have been analyzed separately and then modeled using compact electronic elements and the formula required for their design has been calculated. the simulation of mems microphone and mems inductor has been done in intellisuite software and their circuit simulation has been done in ads software. the sensor is very low-noise and low-power, and its signal-to-noise and power consumption per input voltage of 100 mv is equal to 79.6 db and 204 mw. due to the absence of batteries, the dimensions of the proposed sensor are small and suitable for medical and security applications.