>
Fa   |   Ar   |   En
   طراحی ساختاری از ترانزیستور ماسفت دوگیتی با به‌کارگیری دو ماده، اکسید هافنیم (hfo2) و سیلیسیم-ژرمانیوم (sige) در کانالی از جنس سیلیسیم (dm-dg)  
   
نویسنده نجفعلی‌زاده حامد ,اروجی علی‌اصغر
منبع مهندسي برق دانشگاه تبريز - 1396 - دوره : 47 - شماره : 1 - صفحه:299 -304
چکیده    در این مقاله ساختار جدیدی از ترانزیستور دوگیتی به نام ترانزیستور dm-dg ارائه‌شده است. در این ساختار با به کار بردن عایق hfo2 در مرز ناحیه کانال و درین و همین‌طور استفاده از سیلیسیم-ژرمانیوم در ناحیه سورس منجر به بهبود ساختار در مقایسه با ساختارهای متداول دوگیتی (cdg) شده است. ناحیه عایق hfo2 به‌طور قابل‌توجهی میدان الکتریکی را در ناحیه کانال و درین کاهش می‌دهد؛ بنابراین فرآیندهای مخرب در ساختار ارائه‌شده نسبت به ساختار دوگیتی معمولی به دلیل کاهش اثر حامل‌های داغ (hce) و همین‌طور اثر کاهش سد پتانسیل به دلیل درین (dibl) پایین‌تر است. از طرفی برای این‌که تجمع حفره‌های اضافی را از سطح کانال دور کرده و باعث کاهش اثر بدنه شناور (fbe) و ترانزیستورهای bjt پارازیتیک در ساختار شویم، از سیلیسیم-ژرمانیوم در ناحیه سورس استفاده می‌کنیم. نتایج شبیه‌سازی دوبعدی با نرم‌افزار شبیه‌ساز atlas نشان داده‌شده و به دلیل کوچک بودن طول ناحیه کانال (20 nm) از مدل کوانتومی استفاده شده است.
کلیدواژه ماسفت دوگیتی، اثر کانال کوتاه، عایق hfo2، سیلیسیم-ژرمانیوم
آدرس دانشگاه سمنان, دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر, ایران
پست الکترونیکی aliaorouji@semnan.ac.ir
 
   Presenting Double Gate MOSFET Structure by using Double Material of HfO2 and SiGe in the Channel of Silicon (DMDG)  
   
Authors Najafalizadeh H. ,Orouji A. A.
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved