جوانه ‌زنی و رشد الکتروشیمیایی مس روی پایه مولیبدن: اثر ph، پتانسیل و روش تمیز کردن سطح

در این تحقیق با استفاده از تکنیک های ولتامتری سیکلی و کرونوآمپرومتری مراحل اولیه رسوب دهی الکتروشیمیایی مس روی فلز پایه مولیبدن در محلول اندکی اسیدی مطالعه شده است. رسوب دهی الکتروشیمیایی مس بر روی فلز پایه مولیبدن از دیدگاه ترمودینامیکی، سینتیکی، مکانیزم جوانه زنی و رشد مورد ارزیابی قرار گرفت. با استفاده از ولتامتری سیکلی تعیین شد که رسوب دهی الکتروشیمیایی مس روی فلز پایه مولیبدن یک فرایند برگشت ناپذیر و تحت کنترل نفوذ می باشد. تحت کنترل نفوذ بودن رسوب دهی الکتروشیمیایی مس بر روی فلز پایه مولیبدن توسط رابطه ی randles-sevcik تایید گردید. ضریب نفوذ مس در 3 =ph و 4 با استفاده از رابطه ی randles-sevcik و رابطه ی cottrel محاسبه شدند که در تطابق خوبی با هم بودند. با استفاده از مدل sharifkerhills منحنی های جریان گذرا مس تحلیل شدند. مکانیزم جوانه زنی مس به عنوان تابعی از ph و پتانسیل مورد بررسی قرار گرفتند. در 3=ph و 4 مکانیزم جوانه زنی و رشد مس روی نمونه سمباده شده به‌صورت ترکیبی از آنی و پیشرونده سه بعدی بود درحالی‌که با افزایش ph و پتانسیل مکانیزم جوانه زنی به سمت مکانیزم آنی سه بعدی متمایل شد. غوطه‌ور کردن فلز پایه در محلول حاوی آمونیاک و سپس اسید کلریدریک بعد از سمباده زدن تاثیری بر روی مکانیزم جوانه زنی و رشد نداشت. اچ کردن فلز پایه در محلول حاوی اسید سولفوریک، اسید نیتریک و اسید کلریدریک بعد از سمباده زدن مکانیزم جوانه زنی را از حالت آنی سه بعدی به پیشرونده سه بعدی تغییر داد.

Electrochemical Nucleation and Growth of Copper on Molybdenum Substrate: Effect of pH, Potential and Cleaning procedure

In this study, the early stages of copper electrodeposition on molybdenum substrate from slightly acidic electrolyte were studied by cyclic voltammetry (CV) and chronoamperometry. The electrochemical deposition of copper on molybdenum substrate was investigated from the view point of thermodynamic, kinetic, and nucleation and growth mechanism. According to the CV analysis, the electrodeposition of copper on molybdenum substrate was determined to be irreversible process with diffusion controlled and it was confirmed by RandlesSevcik equation. Diffusion coefficient of copper species at pH=3 and 4 was determined by RandlesSevcik and Cottrel equations and their results were in agreement with each other. Using ScharifkerHills model, the current transients of copper were analyzed. The copper nucleation mechanisms were evaluated as a function of solution pH and deposition potential. It was found that at pH=3 and 4, the nucleation mechanism of copper on grounded substrate was mixed, while with increasing the pH and potential, the nucleation mechanism shifts toward 3D instantaneous. Soaking of substrate in NH3 and then HCl solution after grounding did not change the nucleation mechanism. Etching the substrate in solution containing H2SO4, HNO3 and HCl after grounding changed the nucleation mechanism from 3D instantaneous to 3D progressive.