>
Fa   |   Ar   |   En
   بررسی ساختار و رفتار تریبولوژیکی پوشش نانوساختار کربن شبه الماس رسوب‌گذاری شده به روش pacvd و arc-pvd  
   
نویسنده کرانیان عیسی ,نایب زاده رامین ,غلامپور مهدی
منبع مواد نوين - 1396 - دوره : 8 - شماره : 2 - صفحه:87 -104
چکیده    در این پژوهش پوشش نانوساختار dlc (کربن شبه الماسی) با استفاده از روش pacvd (رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما) و روش arc-pvd (رسوب گذاری فیزیکی از فاز بخار به کمک قوس کاتدی)، روی فولاد st37 پوشش داده شد. سپس در روش arc-pvd یک لایه میانی قبل از پوشش dlc رسوب گذاری گردید. مشخصه‌یابی و ارزیابی پوشش ها به وسیله روش‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی، پراش سنجی پرتو ایکس، طیف سنجی رامان، طیف سنجی با تفکیک انرژی، آزمون های چسبندگی و تریبولوژیکی انجام شد. نتایج نشان داد که پوشش dlc pvd به دلیل حضور لایه میانی ticraln، اندازه ذرات 30 تا 40 نانومتر، سختی گرادیانی و همچنین حضور کاربیدهای تیتانیم و کروم درون پوشش، دارای خواص مکانیکی، چسبندگی و سایش عالی است. اندازه دانه های پوشش dlc pacvd تقریباً در محدوده ی 70 تا 110 نانومتر اندازه گیری شد. از طرفی ضخامت پوشش در روش arc-pvd کم تر از پوشش حاصل از روش pacvd شد که تنش داخلی کم تر پوشش منتهی به چسبندگی مناسب این پوشش شد. بنابراین پوشش حاصل از روش pacvd علی رغم خواص مناسب، نسبت به پوشش  dlc pvdسختی و چسبندگی کمتری از خود نشان داد.
کلیدواژه رسوب فیزیکی بخار، رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما، کربن شبه الماس، پوشش نانوسختار و فولاد st37
آدرس دانشگاه افسری امام علی (ع), دانشکده علوم پایه, ایران, دانشگاه صنعتی شریف, دانشکده مهندسی شیمی, ایران, دانشگاه افسری امام علی (ع), دانشکده علوم پایه, ایران
 
   Investigation of structure and tribological behavior of nanostructured DLC coating, deposited by PACVD and ArcPVD processes  
   
Authors Karanian I ,Nayebzade R ,Gholampour M
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved