>
Fa   |   Ar   |   En
   اثر لایه نشانی مورب بر رفتار مغناطیسی لایۀ نازک آلیاژ آهن-کبالت تولید شده به روش کند و پاش  
   
نویسنده قیصری خلیل الله ,انگ چونگ کیم
منبع مواد نوين - 1399 - دوره : 11 - شماره : 2 - صفحه:31 -44
چکیده    در این پژوهش، اثر لایه‌نشانی مورب بر ویژگی‌های لایۀ نازک آلیاژ آهنکبالت با ترکیب شیمیایی fe90co10 تولید شده به روش کند و پاش مورد ارزیابی قرار گرفت. لایه‌نشانی در دو زاویۀ نشست صفر و 42 درجه صورت گرفت. ساختار بلوری لایه های نشانده شده به کمک روش پراش سنجی پرتو ایکس (xrd) ارزیابی گردید. ویژگی‌های استاتیک و دینامیک مغناطیسی نیز به ترتیب از روی حلقۀ مغناطش و طیف نفوذپذیری تعیین گردید. نتایج ارزیابی‌ها نشان می‌دهد که گرچه در هر دو شرایط لایه نشانی، الگوهای پراش مشابه با جهت‌گیری ترجیحی (110) در فاز نانوساختار bcc آلیاژ آهنکبالت شکل گرفته، اما پارامتر شبکه آنها به صورت قابل توجهی متفاوت است. لایه نشانیده شده در زاویه نشست °42، پارامتر شبکۀ کوچکتری را نشان می‌دهد. علاوه بر این، حلقۀ‌های mh کاملاً متفاوتی در جهات آسانگرد و سخت‌گرد این لایه مشاهده میشود که نشان دهندۀ حضور میدان ناهمسانگردی مغناطیسی بزرگی در این لایه است (بزرگتر از oe 60). در نتیجۀ آن، بسامد تشدید فرومغناطیسی به بزرگیghz 5.71 در لایه نشسته شده در شرایط لایه نشانی مورب به دست آمده که به صورت قابل توجهی بزرگتر از مقدار مشاهده شده در لایه نشسته شده در شرایط لایه نشانی عمودی است (ghz 0.843). همچنین، پایداری حرارتی خوبی در لایه‌های نشسته شده، در محدودۀ دمایی 330 تا k 420 مشاهده می‌شود.
کلیدواژه روش کند و پاش، لایه نشینی در شرایط مورب، ناهمسانگردی مغناطیسی، لایۀ نازک آهن-کبالت، بسامد تشدید فرومغناطیس
آدرس دانشگاه شهید چمران اهواز, دانشکده مهندسی, گروه مهندسی مواد, ایران, دانشگاه ملی سنگاپور, دانشکدۀ فیزیک, سنگاپور
 
   The Effect of Oblique Deposition on the Magnetic Behavior of FeCo Alloy Thin Films Fabricated by Sputtering Technique  
   
Authors Gheisari Khalilollah ,Ong Chong Kim
Abstract    In the present work, the effect of oblique deposition on the properties of the FeCo alloy thin film with the composition of Fe90Co10 was investigated in detail. The films were deposited at the incident angle of 0° and 42° using the sputtering technique. The crystalline structure of the deposited films was evaluated via the Xray diffraction method. The static and dynamic magnetic characteristics were determined from magnetization loops and permeability spectra, respectively. The results show that although the similar diffraction patterns with (110) preferred orientation in the nanocrystalline BCC phase of FeCo alloy have been obtained at both deposition conditions, their lattice parameter is noticeably different. The film deposited at the incident angle of 42° shows a lower lattice parameter. In addition, this film shows obviously different easy axis and hard axis MH loops indicating the existence of a high magnetic anisotropy field (more than 60 Oe). As a result, the ferromagnetic resonance frequency as large as 5.71 GHz is obtained in the obliquely deposited film that is significantly higher than that observed for the normally deposited film (0.843 GHz). Furthermore, good thermal stability is observed for the asdeposited films in the temperature range of 330420 K.
Keywords
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved