بررسی تاثیر ضخامت و فشار در دیافراگم های میکرو الکترومکانیکی در میزان جابجائی در کاربردهای پزشکی
|
|
|
|
|
نویسنده
|
زرگرپورفردین نازلی
|
منبع
|
روش هاي هوشمند در صنعت برق - 1396 - دوره : 8 - شماره : 29 - صفحه:25 -32
|
|
|
چکیده
|
در این مقاله، تاثیر پارامترهای طراحی در دیافراگم بر روی حساسیت میکروفن به منظور استفاده در کاربردهای پزشکی قابل کاشت ارائه گردیده است. پارامترهای متفاوتی از دیافراگم همچون شکل، ابعاد، ضخامت و فشارهای اعمالی مختلف بر روی دیافراگم در نظر گرفته شدهاست. تاثیر تغییرات در این پارامترها بر روی میزان جابجائی و استرس در انواع شکل دیافراگم ها مورد بحث و بررسی واقع شده است. به منظور طراحی بهینه، انواع شکل دیافراگم های پیشنهادی، از جهت پارامترهای در نظر گرفته شده در نرم افزار comsol شبیه سازی و آنالیز شده اند. با توجه به پارامترهای مورد بررسی، انواع اشکال دیافراگم مربعی، مستطیلی و بیضوی شکل با توجه به شرایط در نظر گرفته شده، دارای میانگین جابجائی مرکزی در محدوده فرکانس شنوائی انسان 20hz-20khz به ترتیب nm6.2 ، nm 5. 5 و nm 130می باشد. نتایج حاصل از شبیه سازی ها بدین صورت می باشد که دیافراگم بیضوی شکل نسبت به اشکال دیگر مورد بررسی در این مقاله، برای کاربردهای پزشکی و امکان کاشته شدن، دارای کارائی بهینه و مطلوبی می باشد. به علاوه، ماده ی پیزوالکتریک مورد استفاده در طراحی دیافراگم pzt است.
|
کلیدواژه
|
سیستم میکروالکترومکانیکی (Mems)، دیافراگم، جابجائی، ماده پیزوالکتریک، Comsol
|
آدرس
|
دانشگاه آزاد اسلامی واحد ایلخچی, باشگاه پژوهشگران جوان و نخبگان, ایران
|
پست الکترونیکی
|
zargarpour.n@gmail.com
|
|
|
|
|