تحلیل ارتعاشات یک نوع تیر مونتاژ شده میکروسکوپ نیرو اتمی به روش حل دقیق و بر اساس تیوری تنش کوپل اصلاح شده

چکیدهدر این مقاله، فرکانس تشدید و حساسیت ارتعاشات یک نوع تیر مونتاژ شده میکروسکوپ نیرو اتمی با استفاده از روش حل دقیق و بر مبنای تیوری تنش- کوپل اصلاح شده مورد بررسی قرار گرفته است. تیر مذکور، شامل یک تیر یک-سردرگیر افقی، یک رابط عمودی و دو نوک، یکی در انتهای سر آزاد میکروتیر افقی و دیگری در انتهای سر آزاد رابط عمودی است، که ساختار آن امکان روبش همزمان سطح بالایی و جداره میکروساختارها را برای میکروسکوپ نیرو اتمی فراهم می سازد. برای حل به روش حل دقیق، میکروتیر افقی به صورت دو تیر جداگانه مدل شده است. با بدست آوردن معادله حرکت، شرایط مرزی و پیوستگی، فرکانس تشدید و حساسیت میکروتیر مذکور مورد تحلیل قرار گرفته است. نتایج بدست آمده از مدل حاضر با نتایج حاصل از روش عددی ریلی-ریتز که در مطالعات پیشین ارایه شده، مقایسه شده است. مشاهدات نشان دهنده این واقعیت است که خطای روش عددی در پیش بینی تاثیر پارامترهای مختلف بر روی رفتار ارتعاشاتی تیر مونتاژ شده مذکور قابل ملاحظه است. همچنین با مقایسه نتایج بدست آمده از تیوری تنش-کوپل اصلاح شده، با نتایج حاصل از تیوری تیر کلاسیک می توان نتیجه گرفت که رفتار ارتعاشاتی میکرو تیر مذکور به شدت وابسته به اندازه است.