رشد منظم و عمودی نانو میله‌های دی‌اکسید تیتانیوم بر روی میکرو آرایه‌های سیلیکانی لایه‌نشانی‌شده با اکسید قلع آلاییده‌شده با فلوئور به روش نبولایزر

دراین مقاله، لایه‌های اکسید قلع آلاییده‌شده با فلوئور به‌عنوان الکترود و بذر رشد نانومیله‌های دی‌اکسید تیتانیوم به روش لایه‌نشانی افشانه داغ مبتنی بر تکنیک نبولایزر بر روی میکرو آرایه‌های سیلیکان ایجاد شده‌است. لایه‌نشانی این لایه روی لایه اکسید قلع آلاییده‌شده با فلوئور از اهمیت بالایی برای ساخت نانوژنراتورهای مبتنی بر باریم تیتانات است که در این مقاله از دو روش نبولایزرو و هیدروترمال استفاده شده‌است. تاثیر دمای لایه‌نشانی و همچنین حجم نبولایزر در مقاومت سطحی لایه‌ها توسط دستگاه چهار پروب مورد بررسی قرار گرفته‌است و همچنین نمونه‌ها تحت یک شرایط هیدروترمال یکسان به‌منظور رشد نانومیله ها قرار گرفتند و شکل ظاهری نانوساختارها رشد کرده بر روی لایه‌های ساخته‌شده توسط تصاویر میکروسکوپ الکترونی مورد بررسی قرار گرفته‌است. چسبندگی لایه‌ها در این حوزه نیز اهمیت بالایی دارد و به‌عنوان یکی از پارامترهای مهم در فرآیند هیدروترمال مورد بررسی قرار گرفته‌است. نتایج نشان می‌دهد که با این روش، نانومیله ها روی دیواره‌های ساختار میکرو ماشینکاری رشد پیدا کرده‌است که می‌تواند باعث افزایش کیفیت ادوات  مبتنی براین ساختارها باشد. در این مقاله با استفاده از روش نبولایزر به مقامت های سطحی پایین تا  11ω/cm^2 دست پیدا شد.

vertical growth of titanium dioxide nanorods on nebulizer fluorine doped tin oxide deposited on silicon microarrays

in this paper, fluorine doped tin oxide layers are created as electrodes and seeds for the growth of titanium dioxide nanorods by spray pyrolysis coating based on silicon microarrays. the coating of this layer on the fluorine-contaminated tin oxide layer is of great importance for the fabrication of nanogenerators based on barium titanate. in this paper, two methods nebulizer and hydrothermal have been used. the effect of coating temperature as well as nebulizer volume on the surface resistance of the layers has been investigated by four-point probe device. also, the samples were subjected to identical hydrothermal conditions for the growth of nanorods and the morphology of nanostructures grown on fabricated layers by scanning electron microscope has been investigated.  the adhesion of the layers is also very important in this area and has been studied as one of the important parameters in the hydrothermal process. the results show that with this method, nanorods have grown on the side walls of the micro-machining structure, which can increase the quality of devices based on these structures. in this paper, low surface authorities up to 11 ω / cm2 were achieved using the nebulizer method.