>
Fa   |   Ar   |   En
   تاثیر تابع پتانسیل بر شبیه‌سازی دینامیک مولکولی فرآیند ماشین‌کاری نانومتری سیلیکون تک‌کریستال  
   
نویسنده عاملی کلخوران نادر ,وحدتی مهرداد
منبع علوم كاربردي و محاسباتي در مكانيك - 1398 - دوره : 30 - شماره : 2 - صفحه:17 -32
چکیده    فرآیند ماشین‌کاری نانومتری روشی پیشرفته جهت ساخت قطعات ترد سیلیکونی با صافی سطح نانومتری می‌باشد. با استفاده از شبیه‌سازی دینامیک مولکولی این فرآیند می‌توان به جزئیات ارزشمندی از مکانیزم ماشین‌کاری دست یافت. انتخاب تابع پتانسیل مناسب، اصلی‌ترین پارامتر در تعیین نتایج یک شبیه‌سازی دینامیک مولکولی می‌باشد. در این مقاله از ترکیب سه تابع پتانسیل مورس، ترسوف و استیلینگروبر جهت تعریف اندرکنش‌های بین ذره‌ای استفاده شده است. مکانیزم ماشین‌کاری، دمای قطعه‌کار، نیروهای ماشین‌کاری، انرژی سیستم و آسیب‌های زیر سطحی قطعه‌کار مواردی بودند که جهت مقایسه این توابع پتانسیل مورد مطالعه قرار گرفتند. نتایج نشان داد که استفاده از ترکیب تابع پتانسیل مورس و ترسوف، سبب تغییر مکانیزم ماشین‌کاری به حالت ترد گردیده و انرژی سیستم را تا حد 7.3 % کاهش می‌دهد. همچنین مشخص گردید که اندرکنش بین اتم‌های ابزار و قطعه‌کار تاثیر بیشتری در تعیین دمای قطعه‌کار و نیروهای ماشین‌کاری دارد.
کلیدواژه ماشینکاری نانومتری; دینامیک مولکولی; تابع پتانسیل; سیلیکون
آدرس دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی, گروه ساخت و تولید, ایران, دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی, گروه ساخت و تولید, ایران
پست الکترونیکی naderameli@mail.kntu.ac.ir
 
   The Effect of Interatomic Potential Function on Nanometric Machining of Single Crystal Silicon  
   
Authors Ameli Kalkhoran Seyed Nader ,Vahvadi Mehrdad
Abstract    Nanometric machining process is an advanced method for producing brittle silicon workpiece with nanolevel surface finish. With the aid of molecular dynamics simulation, valuable details of machining mechanism could be obtained. Choosing the appropriate potential function is the main parameter in determining the results of this simulation. In this paper, the combination of the three potential functions of Morse, Tersoff, and StillingerWeber is used to define interatomic interactions. The machining mechanism, workpiece temperature, cutting forces, systems’ energy as well as subsurface damages were studied to compare these potential functions. The results exhibit that using the combination of the Morse and Tersoff potential function would change the machining mechanism to brittle mode and reduce the system energy by as much as 7.3%. It is also found that the interaction between tool and workpiece has a greater influence on the determination of the workpiece temperature and machining forces.
Keywords
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved