تاثیر زمان لایه نشانی بر خواص ساختاری و فیزیکی پوشش های کربنی لایه نشانی شده با روش کندوپاش مگنترونی

امروزه پوشش های کربنی، برای کاربردهای تریبولوژیکی و سایش، الکترونیک، مواد زیستی و پیل های سوختی مورد استفاده قرار گرفته است. در این تحقیق که تلاش شده است خواص پوشش های کربنی لایه نشانی شده بر روی سطح فولاد زنگ نزن l316 با روش رسوب فیزیکی فاز بخار کندوپاش مگنترونی، مورد بررسی قرار بگیرد، به جز زمان لایه نشانی سایر پارامترهای لایه نشانی ثابت در نظر گرفته شده است. نتایج به دست آمده نشان داد که پوشش های کربنی ایجاد شده ساختار آمورف تا نانوبلوری دارند. با افزایش زمان لایه نشانی اندازه خوشه های گرافیتی در زمان های طولانی به دلیل پدیده چیدمان مجدد و برخورد ذرات پر انرژی کاهش می یابد. بر اساس مدل نواحی ساختاری (szm) و تصاویر afm ساختار پوشش های کربنی در ناحیه یک یا ستونی قرار دارد. همچنین با افزایش زمان لایه نشانی، مقاومت الکتریکی سطحی به شدت زیاد می شود که احتمالاً ناشی از وجود تنش های ذاتی فشاری است که تحرک ناقل های الکتریکی را کاهش می دهد. تاثیر زمان لایه نشانی بر روی خواص خوردگی پوشش های کربنی کم و یا قابل چشم پوشی است.