|
|
|
|
بررسی اثر دمای زیرلایه بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن انباشت شده به روش کندوپاش پرتو یونی
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
محقق پور الهام ,رجبی مرجان ,غلامی پور رضا ,مجتهدزاده لاریجانی مجید ,شیبانی شهاب
|
|
منبع
|
فرآيندهاي نوين در مهندسي مواد - 1396 - دوره : 11 - شماره : 4 - صفحه:1 -10
|
|
چکیده
|
در تحقیق حاضر اثر دمای زیرلایه در محدوده ºc 400-36 بر خواص ساختاری و فیزیکی لایه نازک کربن ایجاد شده بر سطح شیشه به روش کندوپاش پرتو یونی بررسی شده است. خواص نوری و ساختاری لایه به ترتیب به وسیله طیف سنجی uv-visible، طیف سنجی رامان و میکروسکوپ نیروی اتمی مورد مطالعه قرار گرفته است. اندازهگیری طیف عبور نمونه ها کاهش میزان عبور نور در محدوده مرئی با افزایش دمای انباشت را نشان می دهد. طیف رامان لایه ها نشان می دهد که ساختار لایه نازک کربن آمورف با افزایش دمای انباشت به سمت کربن آمورف گرافیتی تغییر میکند. بررسی لایه های انباشت شده در دمای بالاتر از ºc100 نشاندهنده روند کاهشی مقاومت الکتریکی اندازهگیری شده توسط روش چهار کاوه و انرژی نوار ممنوعه با افزایش دمای انباشت می باشد. در حالی که نتایج بررسی مورفولوژی سطح افزایش زبری سطح در اثر افزایش دمای زیرلایه را نشان می دهد. در نمونه های انباشت شده در دمای ºc100، حداقل اندازه خوشه های کریستالی گرافیتی با پیوندهایsp2 برابر با nm 0.36 و حداکثر انرژی نوار ممنوعه برابر با ev 3 می باشد.
|
|
کلیدواژه
|
لایه نازک، کربن آمورف، دمای زیرلایه، کندوپاش پرتو یونی
|
|
آدرس
|
سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران, ایران, سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران, ایران, سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران, ایران, پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای, پژوهشکده کاربرد پرتوها, ایران, پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای, پژوهشکده کاربرد پرتوها, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Effect of substrate temperature on structural and physical properties of carbon thin films prepared by ion beam sputtering deposition method
|
|
|
|
|
Authors
|
mohagheghpour elham ,Rajabi Marjan ,gholamipour Reza ,Mojtahedzadeh Larijani Majid ,Sheibani shahab
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|