طراحی و شبیه‌سازی فشار‌سنج و شتاب‌سنج مبتنی بر مدارات مجتمع نوری با استفاده از اثر فوتوالاستیسیته لیتیوم نیوبات

در این مقاله فشارسنج و شتاب سنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخل سنج ماخ زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش می شود و به علت اثر فوتوالاستیسیته تغییرات ضریب شکست در موج بر نوری واقع در دریچه ایجاد می شود. تغییر ضریب شکست، باعث تاخیر فاز نور منتشر شده درموج بر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخل سنج ماخ زندر، به تغییرات شدت نور تبدیل می شود، برای محاسبه تنش ایجاد شده در دریچه از نرم افزار 14.5 ansys استفاده شد و حساسیت فشارسنج و شتاب سنج طراحی شده به ترتیب (rad/pa)10^-4 *2.33 و(rad.s2/m)10^-5 *2.16به دست آمد.