|
|
بررسی تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری و اپتیکی پوشش نابازتابندۀ پهن باند sio2/tio2 ایجاد شده به روش کندوپاش پلاسما
|
|
|
|
|
نویسنده
|
سلمانیان نژاد حسین ,سلمانیان نژاد حسن ,زارعی مقدم رضا ,خانی محمدرضا ,شکری بابک
|
منبع
|
پژوهش فيزيك ايران - 1403 - دوره : 24 - شماره : 2 - صفحه:141 -145
|
چکیده
|
در این مقاله، تاثیر عملیات حرارتی بر خواص ساختاری واپتیکی پوشش های نابازتابندۀ tio2 و sio2 مطالعه و بررسی شد. لایههای نازک به روش کندوپاش بر روی زیرلایۀ سیلیکونی لایه نشانی شده و سپس به مدت 1 ساعت در دماهای مختلف، بازپخت صورت گرفت. با بررسی خواص اپتیکی این نمونهها مشاهده شد که بعد از بازپخت، بازتاب از سطح در بازۀ طول موج 750-450 نانومتر از 2.7 به 0.23 درصد کاهش یافت. ضریب شکست نیز بعد از بازپخت نمونهها کاهش پیدا کرد. همچنین با بررسی خواص ساختاری نمونهها، فاز آناتاز برای قبل از انجام عملیات حرارتی و مخلوط آناتاز و روتایل و نیز افزایش شدت قلهها بعد از بازپخت نمونهها مشاهده شد.
|
کلیدواژه
|
پوشش های پادبازتاب، کندوپاش، عملیات حرارتی
|
آدرس
|
دانشگاه شهید بهشتی, پژوهشکده لیزر و پلاسما, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه شهید بهشتی, پژوهشکده لیزر و پلاسما, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه اراک, دانشکده علوم, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه شهید بهشتی, پژوهشکده لیزر و پلاسما, گروه فیزیک , ایران, دانشگاه شهید بهشتی, پژوهشکده لیزر و پلاسما, گروه فیزیک, ایران
|
پست الکترونیکی
|
b-shokri@sbu.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|