|
|
اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی
|
|
|
|
|
نویسنده
|
سبزعلی پور امیر ,محمدی زاده محمدرضا
|
منبع
|
پژوهش فيزيك ايران - 1390 - دوره : 11 - شماره : 1 - صفحه:15 -26
|
|
|
کلیدواژه
|
لایه های نانومتری ,ضخامت لایه های نازک ,زبری سطوح شفاف
|
آدرس
|
دانشگاه تهران, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه تهران, دانشکده فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|