بررسی اثر پالس بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید مولیبدن در لایه‌نشانی به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
نجفی آشتیانی حامد
|
|
منبع
|
پژوهش فيزيك ايران - 1397 - دوره : 18 - شماره : 3 - صفحه:427 -435
|
|
چکیده
|
در این تحقیق لایه های نازک اکسید مولیبدن به روش کندوپاش مغناطیسی پالس قدرت بالا در پالس های مختلف با طول 60، 90، 120، 150 و 180 میکروثانیه بر روی زیرلایه های شیشه ای در ترکیبی از گازهای واکنشی و غیرواکنشی با نسبت o2/ar= 0.66 لایه نشانی شده اند و مورد مطالعه ساختاری و اپتیکی قرار گرفته اند. ترکیب شیمیایی این اکسیدهای فلزی با آنالیز طیف سنجی فوتوالکترون پرتوی ایکس (xps) تعیین و به صوررت moox با x های مختلف مشخص شدند. با بررسی خواص اپتیکی مشخص گردید که نقصان اکسیژن در پالس ه ای طولانی تر موجب کاهش متوسط عبور اپتیکی و همچنین کاهش گاف نوار اپتیکی لایه ها می شود.
|
|
کلیدواژه
|
کندوپاش مغناطیسی، لایه نازک، اکسید مولیبدن، خواص اپتیکی
|
|
آدرس
|
دانشگاه ولایت, دانشکده علوم پایه, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
h.najafi@velayat.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|