|
|
ساخت لایه های نازک نانو ساختارTio2-Sno2 تهیه شده به روش های باریکه الکترونی و سل ژل به عنوان حسگر اتانول
|
|
|
|
|
نویسنده
|
بیگ محمدی نرگس ,میرجلیلی غضنفر ,ملکی هادی
|
منبع
|
پژوهش فيزيك ايران - 1397 - دوره : 18 - شماره : 2 - صفحه:235 -242
|
|
|
چکیده
|
لایه های نازک نانوساختار sno2- tio2بروی زیرلایه شیشه به روش های باریکه الکترونی و سل ژل ساخته شدند. خواص ساختاری سطح، مورفولوژی و عبوراپتیکی لایه ها توسط پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ الکترونی روبشی و اسپکترومتر uv/vis/nir انجام پذیرفت. ضخامت لایه های نازک کمتر از 300 نانومتر اندازه گیری گردید. اندازه دانه ها در روش باریکه الکترونی 20 و در روش سل ژل 30 نانومتر تخمین زده شد. خواص حسگری لایه های نازک نانوساختار در حضور گاز اتانول با آهنگ شارش cc/min 2400، 2000 و 1800 دمای 200درجه سانتیگراد بررسی گردید.در هردو روش، با افزایش شارش گاز خاصیت حسگری افزایش یافت اما در روش سل ژل خاصیت حسگری به دلیل نقص های شبکه و محدودیت مناطق حسگری اندکی کمتر مشاهده شد.
|
کلیدواژه
|
لایه نازک نانوساختار Tio2-Sno2، باریکه الکترونی، سل ژل، حسگر اتانول
|
آدرس
|
دانشگاه یزد, دانشکده علوم پایه, ایران. سازمان انرژی اتمی, پژوهشگاه علوم و فنون هستهای, ایران, دانشگاه یزد, دانشکده علوم پایه, ایران, سازمان انرژی اتمی, پژوهشگاه علوم و فنون هستهای, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Production of TiO2-SnO2 nano structural thin films prepared by electron beam and sol-gel methods as ethanol sensor
|
|
|
Authors
|
Mirjalili Gh ,Maleki H ,Beigmohammadi N
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|