|
|
|
|
شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
علی پور زردکوهی جواد ,شریعتمدار طهرانی فاطمه ,علیان‌نژادی مریم
|
|
منبع
|
دنياي نانو - 1398 - دوره : 15 - شماره : 56 - صفحه:49 -56
|
|
چکیده
|
لایه‌های نازک فلزی به دلیل کاربرد گسترده درحوزه‌های مرتبط با سلول خورشیدی، حسگر، میکروسکوپ الکترونی و طیف‌سنجی، تشخیص و درمان بافتهاى سرطانى، هوافضا، ارتباطات راه دور، لیزرها، خودرو و ... مورد توجه خاص قرار دارند. در این مقاله فرایند لایه‌نشانی فلزات کاربردی آلومینیوم، مس، قلع و نقره با روش تبخیر حرارتی با استفاده از روش المان محدود شبیه‌سازی و مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می‌دهد که نوع فلز بر روی ضخامت لایه‌های نازک تاثیر بسزایی دارد اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها مستقل از این پارامتر است. همچنین بررسی‌ها نشان داد که تغییر فشار باعث تغییر توزیع ضخامت می‌شود اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها را تحت تاثیر قرار نمی‌دهد. همچنین نرخ لایه‌نشانی فلزات فوق در فشار 50 و 100 پاسکال ارائه شد.
|
|
کلیدواژه
|
لایه های نازک فلزی، تبخیرحرارتی و فرایند لایه نشانی
|
|
آدرس
|
دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران, دانشگاه سمنان, دانشکده فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Simulation and investigation of layering of thin metal layers by thermal evaporation method
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
Abstract
|
|
|
Keywords
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|