|
|
|
|
طراحی، شبیه سازی و ساخت سوییچ خازنی RF MEMS بر روی بستر آلومینا
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
دل آرام فریمانی سعید ,حاج قاسم حسن ,عرفانیان علیرضا ,علی احمدی مجیدرضا
|
|
منبع
|
مهندسي برق و الكترونيك ايران - 1394 - دوره : 12 - شماره : 2 - صفحه:15 -24
|
|
چکیده
|
در این مقاله طراحی، شبیه سازی و ساخت یک سوییچ خازنی rf mems موازی کم تلف بروی موجبر هم صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس ghz 60-40 ارایه شده است. مکانیزم تحریک این سوییچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم-صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه ?50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس سوییچ مورد نظر طراحی و پس از انتخاب ابعاد آن، پارامترهای مهم آن توسط شبیه سازی المان محدود و موجی کامل با نرم افزارهای coventorware و hfss بدست آمده است. در این مقاله نشان داده شده که سوییچ طراحی شده دارای عملکرد مناسبی در این باند فرکانسی است، بطوریکه ولتاژ پایین کشنده v25/19، تلفات داخلی db8/0، تلفات بازگشتی بیشتر از db8/9 و مقدار ایزولاسیون نیز db50 حاصل شده است. با توجه به ابعاد طراحی شده، نمونه آزمایشگاهی سوییچ بروی بستر آلومینا ساخته شده که بر اساس اندازه گیری های صورت گرفته، مقدار تلفات داخلی db5/2 و تلفات بازگشتی بیشتر از db10 حاصل شده است.
|
|
کلیدواژه
|
سوییچ RF MEMS ,موجبر هم صفحه ,تحریک الکترواستاتیکی ,تلفات داخلی ,ایزولاسیون
|
|
آدرس
|
دانشگاه صنعتی مالک اشتر, دانش آموخته کارشناسی ارشد- دانشکده برق و الکترونیک-دانشگاه صنعتی مالک اشتر- تهران- ایران, ایران, دانشگاه تهران, دانشیار- دانشکده علوم و فنون نوین - دانشگاه تهران- تهران- ایران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, استادیار- دانشکده برق و الکترونیک -دانشگاه صنعتی مالک اشتر- تهران- ایران, ایران, دانشگاه صنعتی مالک اشتر, - دانشکده برق و الکترونیک -دانشگاه صنعتی مالک اشتر- تهران- ایران, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
iahmadi@yahoo.com
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|