>
Fa   |   Ar   |   En
   طراحی وساخت حسگراکسید قلع با حساسیت بالا به روش سل ژل وتکنیک لایه نشانی چرخشی  
   
نویسنده کیانی محمدجواد ,زارع مسلم
منبع مهندسي برق و الكترونيك ايران - 1393 - دوره : 11 - شماره : 2 - صفحه:43 -48
چکیده    در این مقاله مراحل ساخت حسگر گاز اکسید قلع با روش سل ژل به کمک دستگاه spinner در دمای گزارش شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع از و برای لایه نشانی از شیشه به عنوان پایه استفاده شده است. عمل spin-coating با استفاده از دستگاه spinner و با سرعتهای مختلف، لایه هایی با ضخامت های مختلف را نتیجه داده است، پس از ساخت حسگرها تغییرات مقاومت الکتریکی آنها بر حسب سرعت دستگاه و همچنین تغییرات حساسیت با سرعتهای مختلف spinner، برای گاز بررسی و منحنی های این تغییرات ترسیم گردید. در این تحقیق آزمایشگاهی پس از تحلیل و مطالعه اعداد بد ست آمده و مقایسه آنها با یکدیگر، حساسیت بالا و خلوص خیلی خوبی برای نمونه های ساخته شده بدست آمد. همچنین یک سرعت بهینه ( rpm1500) برای دستگاه spinner ثبت شده است.
کلیدواژه حسگر گاز ,دستگاه اسپینر ,اسپین کوتینگ ,لایه نازک ,سل ژل
آدرس دانشگاه آزاد اسلامی واحد یاسوج, مربی - دانشکده مهندسی برق- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یاسوج – یاسوج - ایران, ایران, دانشگاه یاسوج, مربی - دانشکده علوم پایه- گروه فیزیک- دانشگاه یاسوج – یاسوج - ایران, ایران
پست الکترونیکی mzare@mail.yu.ac.ir
 
     
   
Authors
  
 
 

Copyright 2023
Islamic World Science Citation Center
All Rights Reserved