|
|
طراحی وساخت حسگراکسید قلع با حساسیت بالا به روش سل ژل وتکنیک لایه نشانی چرخشی
|
|
|
|
|
نویسنده
|
کیانی محمدجواد ,زارع مسلم
|
منبع
|
مهندسي برق و الكترونيك ايران - 1393 - دوره : 11 - شماره : 2 - صفحه:43 -48
|
چکیده
|
در این مقاله مراحل ساخت حسگر گاز اکسید قلع با روش سل ژل به کمک دستگاه spinner در دمای گزارش شده است. برای ساخت لایه های نازک اکسید قلع از و برای لایه نشانی از شیشه به عنوان پایه استفاده شده است. عمل spin-coating با استفاده از دستگاه spinner و با سرعتهای مختلف، لایه هایی با ضخامت های مختلف را نتیجه داده است، پس از ساخت حسگرها تغییرات مقاومت الکتریکی آنها بر حسب سرعت دستگاه و همچنین تغییرات حساسیت با سرعتهای مختلف spinner، برای گاز بررسی و منحنی های این تغییرات ترسیم گردید. در این تحقیق آزمایشگاهی پس از تحلیل و مطالعه اعداد بد ست آمده و مقایسه آنها با یکدیگر، حساسیت بالا و خلوص خیلی خوبی برای نمونه های ساخته شده بدست آمد. همچنین یک سرعت بهینه ( rpm1500) برای دستگاه spinner ثبت شده است.
|
کلیدواژه
|
حسگر گاز ,دستگاه اسپینر ,اسپین کوتینگ ,لایه نازک ,سل ژل
|
آدرس
|
دانشگاه آزاد اسلامی واحد یاسوج, مربی - دانشکده مهندسی برق- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یاسوج – یاسوج - ایران, ایران, دانشگاه یاسوج, مربی - دانشکده علوم پایه- گروه فیزیک- دانشگاه یاسوج – یاسوج - ایران, ایران
|
پست الکترونیکی
|
mzare@mail.yu.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|