بررسی تاثیر شکل سوراخ های جرم آزمون ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده‌ای بر فرکانسی تطبیق مدهای تحریک و حسگری

در طراحی ژیروسکوپ موج آکوستیکی توده ایbaw عموما لازم است که فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بیشینه انتخاب گردند. چنین انتخابی فاکتورکیفیت ژیروسکوپ را بهبود می بخشد. دراین مقاله تاثیر شکل سوراخ هایی را که در مرحله رها سازی جرم آزمون ژیروسکوپbaw ایجاد می شوند بر فرکانس تطبیق مدهای حسگری و تحریک بررسی می کنیم. ژیروسکوپ از نوع حلقه بسته فرض شده است که بر بستر soi ساخته می شود. بویژه دو وضعیت برای سوراخ های مخروطی شکل مورد مطالعه قرار گرفته است. اگر یال هر سوراخ با بستر، زاویه داخلی منفرجه بسازد، اختلاف فرکانس بین مدی کمتر و اگر زاویه داخلی حاده بسازد اختلاف فرکانس بین مدی بیشتر می شود.

Impact of BAW Gyroscope’s Proof Mass Perforation Shape on Matching Frequency of Its Drive and Sense Modes

For the balk acoustic wave (BAW) gyroscopes it is desired to maximize the matching frequency of the drive and the sense modes, since this improves the quality factor of the device. In this paper, the effect of perforation shape formed during the fabrication release steps of a BAW gyroscope upon its sense / drive mode matching frequency is examined.The Gyroscope is assumed to be a closed loop built employing SOI technology. In particular, we have considered the effects of two categories of perforation shapes. If the proof mass holes are coneshaped with interior obtuse angle, mismatch frequency between modes becomes smaller but if cones are made with interior acute angle, mismatch frequency increases.