تولید و مشخصه‌یابی پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن

هدف از پژوهش حاضر، تولید پوشش محافظ ژرمانیومکربن به وسیله فرآیند رسوب­دهی شیمیایی از بخار به کمک پلاسما (pecvd) با استفاده از پیش­ماده­های گازی ژرمان (geh4) و متان (ch4) و سپس مشخصه­یابی آن است. برای این منظور، از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (fesem) مجهز به طیف­سنج تفکیک انرژی (eds)، پراش­سنج پرتو ایکس (xrd)، طیف­سنج مادون­قرمز تبدیل فوریه (ftir)، طیف­سنج فتوالکترون پرتو ایکس (xps)، طیف­سنج فروشکست القائیده لیزری (libs)، آزمون نانوفرورونده و آزمون چسبندگی استفاده شد. بر اساس ارزیابی ساختاری، پیوند خوردن برخی از اتم­های ژرمانیوم با اتم­های کربن و وجود زمینه ژرمانیومکربن در پوشش اثبات شد. همچنین نتایج، نشان دهنده تشکیل پوشش ژرمانیومکربن آمورف به صورت یک لایه متراکم، همگن و عاری از هرگونه تخلخل و ناپیوستگی با چسبندگی بسیار مناسب به زیرلایه بود. مقدار سختی و مدول الاستیک پوشش ژرمانیومکربن به ترتیب حدود 1/7 و gpa 1/95 به دست آمد.