|
|
|
|
طراحی ساختار مغناطیسی یک کاتد کندوپاش مگنترون با استفاده از شبیه سازی میدان مغناطیسی و بررسی نرخ لایه نشانی
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
سلحشور مصطفی ,حمزه کوروس ,زواریان اصغر علی اصغر
|
|
منبع
|
علوم و مهندسي سطح - 1390 - دوره : 6 - شماره : 1 - صفحه:77 -85
|
|
چکیده
|
در این مقاله با بهینه سازی پیکربندی اجزای مغناطیسی کاتد کندوپاش مگنترون تخت گرد توسط نرم افزار اجزای محدود ansys، یک طرح جدید برای چیدمان قطعات مغناطیسی کاتد پیشنهاد شده است. در این طرح با مایل قرار دادن آهنربای کناری نسبت به سطح هدف و بکارگیری یک مهار در زیر آن، خطوط شار مغناطیسی در ناحیه نسبتاً وسیعی در بالای هدف موازی سطح آن شده است. علاوه بر این، یک نمونه کاتد بر اساس این طراحی ساخته و پارامترهای عملکردی آن اندازه گیری شده است. این پارامترها شامل بازدهی مصرف هدف و نرخ لایه نشانی است که در فشار 50 میلی تور و توان 1 کیلووات به ترتیب مقادیر 56 درصد و 16 نانومتر بر ثانیه برای آنها بدست آمد.
|
|
کلیدواژه
|
کاتد کندوپاش مگنترون ,شبیه سازی میدان مغناطیسی ,بهینه سازی میدان مغناطیسی ,بازدهی مصرف هدف ,Magnetron Sputtering Cathode ,Magnetic Field Simulation ,Magnetic Field Optimization ,Target Utilization
|
|
آدرس
|
جهاد دانشگاهی واحد صنعتی شریف, ایران, جهاد دانشگاهی واحد صنعتی شریف, ایران, جهاد دانشگاهی واحد صنعتی شریف, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|