|
|
|
|
تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
کیانی مریم ,تنهایی اهری محمدرضا ,مجتهدزاده لاریجانی مجید
|
|
منبع
|
علوم و مهندسي سطح - 1390 - شماره : 12 - صفحه:17 -23
|
|
|
|
|
کلیدواژه
|
نیترید زیرکونیوم ,باریکه پرتو یونی ,XRD و RBS
|
|
آدرس
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|