مطالعه فازی پوشش نانوساختار چند لایه نیترید کروم آلومینیوم تولیدشده به روش رسوب فیزیکی بخار

در پژوهش حاضر، پوشش های نانوساختار نیترید کروم آلومینیوم تولید شده به روش رسوب فیزیکی بخار قوس کاتدی در مقیاس صنعتی مورد ارزیابی ساختاری و فازشناسی قرارگرفت. ریزساختار توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی و آنالیز پوشش ها با استفاده از میکروآنالیز طیف سنجی تفکیک انرژی و آزمون های پراش پرتو ایکس مطالعه گردید. بافت کریستالوگرافی پوشش ها با محاسبه ضریب بافت از روی الگوهای پراش محاسبه شد و بافت 222 شناسایی گردید. یافته های آزمایش نشان می دهد پوشش های نیتریدی چندلایه crn/craln ساختاری نانو کریستال با اندازه کریستالیت ها در محدوده 8 تا 18 نانومتر دارند. فازیابی پوشش ها توسط پراش پرتو ایکس نشان داد که crn فاز اصلی است و اضافه شدن آلومینیوم در شبکه، پوشش craln را ایجاد می کند که باعث جابجاشدن پیک ها می شود. در شرایط عدم کنترل دقیق عوامل فرآیندی، فاز cr2n و با افزایش تبخیر آلومینیوم، فراتر از یک حد مشخص، فاز aln نیز پدیدار می گردد. حل شدن مقادیر متفاوت آلومینیوم و جابجایی نسبتاً زیاد خطوط پراش، فازیابی این نوع پوشش های نیتریدی را با چالش همراه کرده است، لذا شناسایی فازهای موجود در پوشش فقط با نرم افزار اکسپرت میسر نیست و به اطلاعات کریستالی فازها نیاز دارد.