|
|
|
|
شبیه سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
مینائی فرد سکینه ,ثابت داریانی رضا
|
|
منبع
|
علوم و مهندسي سطح - 1388 - شماره : 8 - صفحه:59 -67
|
|
|
|
|
کلیدواژه
|
سیلیکان متخلخل ,انبوهش پخش محدود ,شبیه سازی ,ضریب چسبندگی ,میدان متوسط
|
|
آدرس
|
دانشگاه الزهرا (س), گروه فیزیک, ایران, دانشگاه الزهرا (س), گروه فیزیک, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
sabetdariani@gmail.com
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|