|
|
|
|
خصوصیات ساختاری و اپتیکی فیلم نیترید سیلیکو ن تولید شده بر رو ی سیلیکون توسط فرآیند کاشت یون با انرژی کم
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
درانیان داود ,آزادفر پروانه ,ساری امیرحسین
|
|
منبع
|
پژوهش هاي نوين در رياضي - 1388 - دوره : 19 - شماره : 71 - صفحه:63 -72
|
|
|
|
|
کلیدواژه
|
نیمه هادی ,کاشت یون ,پراش اشعه ایکس ,زبری سطح ,مقاومت سطحی
|
|
آدرس
|
دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران, مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما, ایران, دانشگاه آزاد اسلامی واحد کرج, دانشکده علوم, گروه فیزیک, ایران, دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران, مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
doran@srbiau.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|