مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

Fa | Ar | En

مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی


نویسنده	عباس زاده مبارکی حسین
منبع	مهندسي مكانيك - 1395 - دوره : 25 - شماره : 106 - صفحه:42 -48

کلیدواژه	سیستم‌ میکروالکترومکانیکی؛ حسگر؛ محرک؛ میکروماشینکاری
آدرس	دانشگاه صنعتی ارومیه, ایران
پست الکترونیکی	hossein.mobaraki1995@gmail.com