|
|
|
|
سیستم های میکرو الکترو مکانیک
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
غضنفر حمید ,طهانی مسعود
|
|
منبع
|
مهندسي مكانيك - 1392 - دوره : 22 - شماره : 89 - صفحه:61 -69
|
|
|
|
|
کلیدواژه
|
میکروالکترومکانیک ,میکروتیر ,نیروی کاسمیر ,فن کارمان ,میرایی فشاری ,نیروی الاستیک
|
|
آدرس
|
دانشگاه فردوسی مشهد, ایران, دانشگاه فردوسی مشهد, ایران
|
|
پست الکترونیکی
|
mtahani@um.ac.ir
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Authors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|