تاثیر آهنگ شارش نیتروژن در بهبود خواص لایه ی نازک نیترید کروم تهیه شده به روش HCD
|
|
|
|
|
|
|
|
نویسنده
|
نوین روز عبدالجواد ,مرشدی حسین
|
|
منبع
|
زيست شناسي كاربردي - 1384 - دوره : 18 - شماره : 1 - صفحه:21 -29
|
|
چکیده
|
لایه های نازک نیترید کروم (crn) بدلیل برخورداری از سختی زیاد و مقاومت در برابر خوردگی و سایش، در زمینه های مختلف صنعتی مورد استفاده قرار می گیرند. برای مطالعه این خواص، بر روی زیرلایه های فولاد نگیر (ss) 316aisi و شیشه کوارتز با استفاده از روش تخلیه الکتریکی کاتد توخالی (hcd)، پوششهایی از این لایه ها در فشار pa 2/3 ضربدر ده به توان منفی دو و دمای 300 درجه سانتی گراد تهیه شده اند. بررسیها نشان می دهند که میزان نیتروژن در ترکیب crn تاثیر بسزایی در خواص لایه های انباشت شده دارد که در آن ریزسختی hv 2100 و شارش cm^3 min ^-112 گاز نیتروژن، بیشترین مقاومت به سایش و ریزسختی را برای ساختار بلورینی که دارای رشد ترجیهی(200) می باشد نشان می دهند.
|
|
کلیدواژه
|
نیترید کروم، فیلم نازک، تخلیه الکتریکی کاتد توخالی، سختی سنجی
|
|
آدرس
|
مرکز تحقیقات کشاورزی و پزشکی هسته ای کرج, گروه فیزیک, ایران
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|